更好的MEMS晶圆干燥方法 说实话，干燥MEMS传感器晶圆其实是一件很麻烦的事。必须去除其中的湿气，但同时不能留下任何残留物，而且也不能让材料因温度剧烈变化而受到损伤。长期以来，人们只能将晶圆放入对流式烤箱中试图让它们干燥。但实际上，有更高效的方法。 我们改用了短波红外线加热技术。与通过整个空间来...

别再把设备变成“烤箱”了！ 说实话，给设备的不恰当部位加热只会浪费金钱，而且还有安全风险。 如果你使用的是普通的红外灯，那么你肯定已经注意到，这些灯光会向各个方向散发热量。这样一来，设备的内部结构就会变成巨大的散热器。机壳会变得过热，难以触摸，而那些位于热源附近的敏感电子元件则可能因此受损。 这真...

防止碎片飞溅：在灯具故障时保护晶圆安全 在那种高产量生产的工厂里，灯具熄灭无疑是一场灾难。这不仅仅意味着生产中断的问题，更会导致现场一片混乱。如果红外灯管在晶圆上方爆炸，那么到处都会是玻璃碎片和化学残留物。这样一来，整批晶圆都将被毁掉，而且还会带来很多麻烦。 我们设计的红外灯能够承受高温，这样就不...

为什么我们选择红外固化技术来制造无铅传感器 制造氢气传感器时，需要找到一个平衡点：既需要足够的热量来让膜材和粘合剂固化，但又不能过度加热，否则就会损坏那些敏感的化学层。因此，我们选择使用红外固化技术。与传统的加热方式不同，红外技术可以直接作用于材料本身。这种方式更高效、更环保，有助于确保我们的半导...

别让坏掉的灯毁掉你的晶圆 在大量生产的工厂里，灯管损坏可不是简单的停机问题，而是一场灾难。当石英外壳破裂时，玻璃碎片和钨丝会掉落在晶圆上。一旦发生这种情况，整批晶圆就报废了。我们见过太多这样的案例，因此我们特意设计出了能够防止此类情况的红外灯。 将碎片限制在指定范围内 我们首先使用高纯度的合成石英...