更好的MEMS晶圆干燥方法 说实话，干燥MEMS传感器晶圆其实是一件很麻烦的事。必须去除其中的湿气，但同时不能留下任何残留物，而且也不能让材料因温度剧烈变化而受到损伤。长期以来，人们只能将晶圆放入对流式烤箱中试图让它们干燥。但实际上，有更高效的方法。 我们改用了短波红外线加热技术。与通过整个空间来...

为什么我们要在制造工厂中采用红外固化技术？ 每当我检查干燥线的能耗情况时，我都在思考一个问题：如何在不降低生产速度的情况下，减少碳排放呢？ 传统的对流式烤箱其实不过是巨大的加热箱，它们通过加热大量空气来达到加热效果。这显然是一种浪费——因为实际上只是为了加热芯片而让空气升温而已。而红外固化技术则完...

专为实际应用而设计的红外灯管 我们为那些不愿为高端产品支付过高成本的工程师们打造了这款红外灯管。它完全可以替代那些价格昂贵的进口品牌部件，尤其适用于晶圆干燥工艺。其优势在于：能提供强大的热量输出以及极高的可靠性，从而确保生产流程的顺畅进行，同时价格也相当合理。 其核心优势：功率与适配性 这款灯管的...

在芯片制造过程中，即使经过清洗后仍存在一点水分，都可能毁掉整批产品。传统的干燥方式会在晶圆上产生温度梯度，而这种梯度会导致光阻层的厚度不均匀。我们设计的晶圆干燥红外加热器能够从源头上消除这种不均匀性。 从技术层面来看，最重要的是什么？ 我们使用具有快速响应特性的石英元件来产生短波红外辐射，这样一来...

在晶圆厂车间，晶圆从最终漂洗阶段出来——计时开始。如果干燥加热器跟不上，就会有水分被困在光刻胶下，几个小时后表现为光刻缺陷。我们设计的MEMS晶圆干燥加热器，旨在从源头降低此风险：稳定的热量，循环周期间无波动。 核心关键点 我们采用短波红外发射器，针对水和常用溶剂的吸收谱进行了调谐，使表面加热快速...