洁净室设备升级中

在芯片制造过程中，光阻烘烤时的温度波动若达到0.3℃，那可绝不是“小误差”——这实际上会导致产品合格率下降。软烘烤和硬烘烤的温度设定决定了关键尺寸的精度，而一旦晶圆表面的温度分布不均，蚀刻过程的选择性也会受到影响。提升洁净室的加热系统并非只是为了表面上的改善，而是为了实现更精确的过程控制。 我们采...