半导体加热器用热电偶
在红外加热系统中准确控制温度 如果我们真想减少半导体制造过程中的碳排放,就必须杜绝能源的浪费。因此,我们开始使用红外加热灯,而非传统的电阻式烤箱。其原理很简单:红外加热灯能够直接将热量传递到晶圆上。
但问题在于,如果温度控制不精确的话,所有“环保”的好处都会化为乌有。这时,热电偶就显得非常重要了。...
半导体洁净室推车式加热器
避免灾难:在加热器失效时保持晶圆清洁 如果你曾在半导体洁净室工作过,就会明白那种情况有多糟糕。一旦红外灯损坏,玻璃碎片和钨丝就会掉落在晶圆上,这无疑是一场灾难——晶圆立刻被污染,只能废弃。
我们都经历过这种情况,因此我们设计了专门的加热装置,以便在高峰生产期间也能避免此类问题。
应对“灯管破裂”的...
节能型半导体加热器
在智能工厂中实现精准控温
如果你正在打造一个工业4.0时代的智能工厂,那你一定已经意识到,传统的“简单加热空气”的方式已经不再适用了。现在需要的是更精准的控温方式。这就是为什么大多数人选择高效的红外线加热系统——因为这种系统能够直接作用于目标区域,从而避免浪费能源来加热整个空间。
让数据来发挥作用...
用于半导体加热器的特氟龙线
确保安全:在化学处理区域使用红外加热器 如果您从事半导体清洗工作,那么您一定知道其中的危险性。所使用的溶剂一旦遇到火花,就会引发严重后果。因此,在这种环境中使用红外加热器时,风险极高。哪怕有一点点的电气故障或火花产生,都可能引发灾难。
普通的电线根本无法满足这种需求。正因如此,我们才使用涂有特氟龙...
用于半导体的镀金红外灯
在芯片制造过程中,烘烤温度只要偏差0.5摄氏度,就足以导致芯片的尺寸出现纳米级的变化,进而使产品的合格率下降。所谓的“软烘烤”和“硬烘烤”,其实并不是简单的加热步骤而已,它们实际上决定了整个光刻流程中的热量控制参数。
关键在于内部结构
我们使用镀金的红外线灯,这类灯光能够发出近乎单色的近红外光,从...