半导体洁净室推车式加热器

避免灾难：在加热器失效时保持晶圆清洁 如果你曾在半导体洁净室工作过，就会明白那种情况有多糟糕。一旦红外灯损坏，玻璃碎片和钨丝就会掉落在晶圆上，这无疑是一场灾难——晶圆立刻被污染，只能废弃。 我们都经历过这种情况，因此我们设计了专门的加热装置，以便在高峰生产期间也能避免此类问题。 应对“灯管破裂”的...