标签为“钢铁”的页面如下 不锈钢加热器外壳制造 在半导体制造过程中,精确度至关重要。不过长期以来,我们一直使用传统的电阻式加热器——这类加热器虽然能够加热晶圆,但同时也会浪费大量能源来加热整个机器的框架。 我们现在正在逐步放弃这种传统方式,转而采用红外加热技术。其优势在于:可以更快地将目标区域加热到所需温度,同时避免浪费能量去加热周围的空气。... Read more...
不锈钢加热器外壳制造 在半导体制造过程中,精确度至关重要。不过长期以来,我们一直使用传统的电阻式加热器——这类加热器虽然能够加热晶圆,但同时也会浪费大量能源来加热整个机器的框架。 我们现在正在逐步放弃这种传统方式,转而采用红外加热技术。其优势在于:可以更快地将目标区域加热到所需温度,同时避免浪费能量去加热周围的空气。... Read more...