Hãy ngăn chặn sự nhiễm bẩn của các tấm wafer ngay từ đầu: Một cách thông minh hơn để xử lý các loại đèn sử dụng trong quá trình xử lý wafer.
Thành thật mà nói, khi ống thủy tinh bị vỡ trong quá trình hoạt động của máy, đó là một thảm họa. Bạn không chỉ phải đối mặt với tình trạng máy ngưng hoạt động, mà còn phải đối mặt với những mảnh thủy tinh và khí halogen rải rác trên bề mặt silic của wafer. Điều này gây ra nhiều phiền toái, tốn kém chi phí, và là điều mà ai cũng muốn tránh.
Chúng tôi đã tìm ra cách ngăn chặn điều này bằng cách thiết kế lại cấu trúc của đèn. Chúng tôi tạo ra một lớp bảo vệ và vỏ đèn có khả năng phản chiếu ánh sáng cao.
Bí quyết nằm ở lớp bảo vệ này. Hầu hết mọi người nghĩ rằng các tấm phản chiếu chỉ có chức năng đẩy ánh sáng hồng ngoại trở lại vào wafer. Đúng vậy, nhưng chúng tôi sử dụng vật liệu được mạ vàng hoặc nhôm có độ tinh khiết cao để biến vỏ đèn thành một chiếc “chiếc bình chứa” giữ các mảnh vụn lại.
Nếu ống thủy tinh bị nứt hoặc cháy do áp suất cao, lớp bảo vệ này sẽ giữ các mảnh vụn lại, không để chúng rơi xuống wafer. Đây là giải pháp đơn giản nhưng hiệu quả, giúp tránh được thảm họa.
Đạt được nhiệt độ cao hơn với áp lực ít hơn. Chúng tôi đã điều chỉnh các tấm phản chiếu sao cho ánh sáng được hướng đúng chỗ cần thiết. Bằng cách thu hẹp chùm sáng, chúng ta có thể đạt được mật độ nhiệt cao hơn mà không cần tăng điện áp.
Điều tuyệt vời nhất là việc này giúp giảm áp lực lên thành ống thủy tinh, từ đó giúp các sợi dây tóc trong ống thủy tinh kéo dài tuổi thọ hơn.
Tuy nhiên, cần lưu ý rằng vỏ đèn sẽ trở nên rất nóng. Nếu dòng khí lưu thông bị tắc, nhiệt độ cao này có thể làm cong các bộ phận kết nối của đèn theo thời gian. Vì vậy, hãy chú ý đến hệ thống thông gió của máy.
Được thiết kế dành cho môi trường sạch. Không ai thích việc lau chùi bụi bẩn ở những góc khuất cả. Đó là lý do tại sao chúng tôi thiết kế các tấm phản chiếu thành bề mặt cong mượt. Không còn chỗ nào để bụi bẩn ẩn náu nữa. Việc vệ sinh cũng trở nên dễ dàng hơn, và bạn cũng không cần lo lắng về việc các hạt bụi bị vỡ ra trong quá trình sản xuất.
Khi lắp đặt các tấm phản chiếu này vào hệ thống của bạn, hãy chắc chắn rằng chúng được sắp xếp đúng vị trí, với độ chính xác khoảng 0,5 mm. Nếu chúng không được sắp xếp đúng, nhiệt độ cao sẽ tập trung vào một số điểm trên wafer, dẫn đến việc xử lý wafer không đồng đều.
Nếu sắp xếp chúng đúng cách, bạn sẽ biến một thảm họa tiềm ẩn thành một công việc bảo trì đơn giản mà thôi.