
防止石英管爆裂,避免破坏整个生产过程
在生物传感器制造过程中,如果有一只灯管出现故障,那么整批晶圆都可能无法使用。这简直就是一场噩梦。
当石英管在高负荷运转时发生破裂,那不仅仅是设备停止运行的问题——玻璃碎片和金属粉尘会四处飞溅,污染整个工作环境。要清理这些杂质几乎是不可能的。
我们如何防止灯管爆裂
我们主要从两个方面来解决问题:控制温度,以及防止碎片扩散。
大多数故障都是因为密封不良或局部过热造成的。为了解决这个问题,我们使用纯度极高的合成石英材料。这种材料在受热时不会轻易膨胀,因此即使温度剧烈变化,也不会产生微小的裂纹,从而避免灯管爆裂。
不过,我们还是做好了最坏的打算。我们会为灯管加上额外的保护层或特殊涂层,相当于一种“保险措施”。如果内部灯丝出现故障导致灯管破裂,外部保护层就能挡住碎片。虽然会损失一只灯管,但至少可以保住晶圆。
应对热量问题
当大量能量被集中在狭小的空间内时,管内的压力会变得非常高。为了解决这个问题,我们会精确控制气体含量,以平衡管内外的压力。
另外,一定要确保良好的冷却效果。高功率红外灯会产生大量的热量。如果气流不足以将热量从灯管两端带走,那么连接处就会变形,进而导致灯管烧毁。这是一个连锁反应。
让维护变得更简单
我们不想给用户带来更多麻烦,因此设计了便于更换灯管的方案。由于我们使用的是标准化的连接器,所以只需更换新的灯管,无需重新连接整个电路。操作非常简单。
这里有个建议:不要等到灯管彻底损坏才更换它。建议每2,000小时就更换一次灯管。与其花一周时间来清理受污染的工作室,不如在周二下午就更换灯管,这样成本更低。