Hören Sie auf, sich Sorgen um die Kontamination der Wafer zu machen.
In einer Halbleiterfabrik ist ein Versagen der Lampen ein Albtraum. Es geht nicht nur um die Stillstandszeiten – es entsteht auch Chaos. Wenn eine Quarzröhre während eines Hochlastzyklus platzt, werden Überreste überallhin geschleudert, was dazu führt, dass die Wafer kontaminiert werden und die Ausbeute verschlechtert wird.
Wir haben das auch schon erlebt. Deshalb haben wir Lampen mit zwei vergoldeten Röhren entwickelt.
Das Geheimnis liegt in der Konstruktion.
Die meisten Lampen konzentrieren den gesamten Druck an einem Ort. Wir verteilen die Heizelemente stattdessen auf zwei Röhren. Dadurch wird die Wärmelast gleichmäßig verteilt, sodass keine Stelle auf dem Quarz überlastet wird.
Sie erhalten weiterhin die gleiche Gesamtleistung – doch da die Oberfläche größer ist, bleibt das Glas kühler. Das bedeutet, dass Sie die Leistung erhöhen können, ohne befürchten zu müssen, dass die Röhre durch thermische Belastungen zerstört wird.
Und dann ist da noch das Gold.
Es dient nicht nur zum Look. Die Vergoldung fungiert wie ein Spiegel, der die Infrarotstrahlung direkt auf die Wafer lenkt. Da die Reflexion so effizient ist, müssen Sie die Leistung nicht so hoch einstellen, um die gewünschte Temperatur zu erreichen.
Dadurch bleiben die Glühfäden länger intakt und das Risiko eines Platzens der Röhren wird stark verringert.
Sauber halten.
Billige Lampen neigen dazu, abzublättern oder Gase abzugeben. Wir verwenden ein Vakuumabscheidungsverfahren für die Vergoldung – dadurch bleibt die Schicht auch bei hohen Temperaturen intakt. Falls eine Röhre doch versagt, sorgt die doppelte Röhrenkonstruktion dafür, dass der „Explosionsradius“ klein bleibt – Sie müssen also nicht wochenlang die Trümmer von Ihrer Ausrüstung entfernen.
Ein schneller Tipp zur Einrichtung:
Überprüfen Sie Ihre Kühllüfter. Stellen Sie sicher, dass sie für die Leistung dieser Lampen geeignet sind. Wenn die Luftzufuhr schwach ist, staut sich Wärme im Gehäuse – dadurch geht der ganze Vorteil der doppelten Röhrenkonstruktion verloren.
Halten Sie die Lüftungsöffnungen frei. Und bitte verwenden Sie eine stabile Stromversorgung. Spannungsspitzen sind die häufigste Ursache für das Versagen der Glühfäden.