省エネ型半導体ヒーター
スマートファブで適切な温度を実現するために
もし、インダストリー4.0対応のスマートファブを構築しているのであれば、単純に空気を加熱するという古い方法ではもはや十分ではないことがわかっているはずです。より精密な制御が必要です。そのため、私たちの多くは高効率な赤外線装置を利用しています。これにより、...
省エネ型ウェーハヒーター
スマートファブの温度を制御する方法 スマートファブを構築する際、従来の加熱システムではもはや十分でないことがわかるでしょう。高度な技術やデータに基づいて作業を行うためには、古い方式の装置では不十分です。適切な加熱システムが必要です。
そこで役立つのが赤外線(IR)です。ウェーハの温度を迅速に上昇さ...
ファブ乾燥装置のエネルギー診断
なぜ私たちが工場でIR硬化法を採用するのか
乾燥工程のエネルギー消費をチェックするとき、私が最も重視するのは「工程の速度を落とさずに、どうやって炭素排出量を減らすか」という点です。
従来の対流式オーブンは、大量の空気を加熱する巨大な装置に過ぎません。これは完全な無駄遣いです。ウェーハを加熱するため...