はじめに こんな状況を想像してみてください。高負荷の真空チャンバーを運用していると、小さなヒーターランプが壊れてしまいます。そうなると、全体の作業が停止してしまいます。さらに悪いことに、高価なウェーハが汚染されてしまうのです。 まさにそのために、私たちは真空チャンバー用の赤外線ヒーターを開発したの...

ライン上で、ウェーハがスピンコーターから取り出され、フォトレジストを迅速に均一にセットする必要がある。ソフトベイクやハードベイク時に数度の温度誤差があれば、残留溶剤やパターン崩壊、歩留まり低下といった問題に直面することになる。ヒーターは再現性のある温度を提供し、パーティクルを排除し、真空中でもチャ...