ウェーハ加熱時の安全距離

ウェーハ加熱における工学的な安全距離：なぜ高密度赤外線がスマートファブに不可欠なのか 将来のIndustry 4.0対応のスマートファブを構築する場合、デジタル生産のペースに追いつくことができる熱処理ソリューションが必要です。まさにそのために、私たちはウェーハ加熱用の高密度赤外線システムを開発しま...