ウエハ表面張力測定ヒーター

ファブフロアでは、物事がどれほど迅速に悪化するかを知っています。フォトレジストのソフトベイクで1°Cのドリフトがあれば、CDが動いてしまいます。非均一な乾燥？それが原因で、歩留まりを損なう水跡が生じます。私たちは、これらの損失を発生源で止めるために、ウエハー表面張力測定ヒーターを開発しました。 技...