クリーンルーム用オーブン・赤外線ヒーター

IR加熱と熱風加熱：どちらが実際にクリーンルームで有効なのか？ 半導体加工用のオーブンを選ぶとき、重要なのは「熱をどのように伝えるか」という点です。 ほとんどの場合、まずは強制送風方式が採用されます。空気を加熱し、ファンで送風して、ウェハ全体に均等に熱が行き渡るようにします。しかし、IR加熱は全く...