MEMSウェーハ乾燥ヒーター

製造現場では、ウェハーが最終すすぎから出てきて、そこから時計が動き始める。乾燥ヒーターが追いつかなければ、フォトレジストの下に水分が閉じ込められ、それが数時間後にリソグラフィの欠陥として現れる。われわれは、安定した熱をサイクルごとに途切れなく供給することで、このリスクを根本から排除するために...