웨이퍼의 오염을 사전에 막으세요: 더 스마트한 방식으로 세정 램프를 사용하는 방법
솔직히 말해서, 고부하 상태에서 쿼츠 튜브가 파손되면 정말 골칫거리입니다. 단순히 가동 중단만의 문제가 아니라, 실리콘 표면에 유리 조각과 할로겐 가스가 퍼지는 문제도 생깁니다. 이는 매우 번거롭고 비용도 많이 들며, 누구도 원하지 않는 상황입니다.
우리는 램프의 구조를 재설계함으로써 이러한 문제를 해결할 수 있는 방법을 찾아냈습니다. 기본적으로 물리적인 보호 장치와 반사율이 높은 케이스를 설계에 포함시킨 것입니다.
비밀은 바로 그 보호 장치에 있습니다.
대부분의 사람들은 반사판이 단순히 적외선을 웨이퍼 쪽으로 다시 반사시키는 역할만 한다고 생각합니다. 물론 그렇긴 하지만, 우리는 금 도금된 소재나 고순도 알루미늄을 사용하여 케이스를 보호용 용기로 만들었습니다.
만약 튜브가 압력으로 인해 파손되거나 손상된다면, 반사판이 그 파편들을 가로막아줍니다. 그렇게 하면 파편들이 웨이퍼 위로 떨어지는 것을 방지할 수 있습니다. 이는 간단한 해결책이지만, 큰 재난을 막아줍니다.
더 많은 열을 얻으면서도 스트레스는 줄입니다.
우리는 이 반사판들을 조정하여 열이 필요한 곳에 정확하게 전달되도록 했습니다. 광선을 좁혀주면 전압을 높이지 않고도 더 높은 열 밀도를 얻을 수 있습니다.
가장 좋은 점은, 튜브 벽에 가해지는 스트레스가 줄어든다는 것입니다. 그래서 필라멘트의 수명도 더 길어집니다.
단, 주의해야 할 점이 있습니다. 바로 외부 케이스가 매우 뜨거워진다는 것입니다. 공기 흐름이 막히면 시간이 지나면서 마운팅 브래킷이 변형될 수 있습니다. 그러므로 환기 상태를 잘 확인해야 합니다.
클린룸에 최적화된 설계입니다.
아무도 좁은 곳에 쌓인 먼지를 청소하는 것을 좋아하지 않습니다. 그래서 우리는 반사판을 매끄럽고 곡선형으로 만들었습니다. 그래서 먼지가 숨을 곳이 없습니다. 청소도 쉽고, 생산 중에 탄화된 입자들이 떨어지는 것도 걱정할 필요가 없습니다.
이 반사판들을 설치할 때는 반드시 0.5mm 이내로 정렬시켜야 합니다. 정렬이 제대로 되지 않으면 웨이퍼에 과열 현상이 발생하여 균일한 세정이 이루어지지 않습니다.
정렬만 제대로 하면, 잠재적인 재앙을 단순한 정비 작업으로 바꿀 수 있습니다.