왜 카본 파이버 IR이 스마트 팩토리의 핵심 기술인가요? 새로운 스마트 팩토리를 구축할 계획이라면, 모든 것이 빠르고 정확하게 연결되어야 한다는 점은 잘 알고 있을 것입니다. 하지만 많은 사람들이 겪는 문제가 바로 가열 방식입니다. 기존의 가열 요소들은 반응 속도가...

생체센서에 적외선을 사용하는 이유 생체센서를 제작할 때, 열처리 과정은 매우 섬세한 작업입니다. 폴리머나 접착제를 경화시켜야 하지만, 기판이 손상되어서는 안 됩니다. 그래서 우리는 적외선 램프를 사용합니다. 이 램프들은 공기를 데우는 대신 방사능을 이용해 에너지를 전...

일상을 망치기 전에 관을 파열되는 것을 막아야 합니다. 바이오 센서 생산 과정에서 단 하나의 결함 있는 램프만으로도 모든 웨이퍼가 망가질 수 있습니다. 정말 끔찍한 상황입니다. 고부하 상태에서 석영관이 파열되면, 그건 단순히 가동 중단 문제가 아닙니다. 갑자기 작업...

왜 생체센서 연구소에서는 열풍 대신 적외선을 사용하는가? 생체센서를 제작할 때, 가장 번거로운 과정은 센서를 굳히고 건조시키는 단계입니다. 오랫동안 표준적인 방법은 열풍을 이용하는 것이었습니다. 하지만 솔직히 말해서, 이 방법은 매우 비효율적입니다. 문제는 공기를 이...

폐기물 없이 웨이퍼를 건조시키는 방법 솔직히 말해서, 기존의 대류식 오븐들은 현대 반도체 공장에 있어서는 그다지 효율적이지 않습니다. 크기가 커서 에너지를 많이 소비하며, 무연화 및 친환경적인 기준에도 부합하지 않습니다. 그래서 우리는 세척 단계에서 방수 기능을 갖춘...

왜 UHP 히터 램프의 절연 성능을 꼼꼼하게 테스트하는가? 울트라 하이 퓨어리티(UHP) 히터 램프를 사용할 때는 극도로 높은 온도 환경에서 작업해야 하며, 오차의 여지가 전혀 없습니다. 이러한 램프를 반도체나 제약 장비에 연결할 경우 그 위험성은 매우 큽니다. 아주...

웨이퍼의 오염에 대해 걱정할 필요는 없습니다. 반도체 공장에서는 램프가 고장나는 것이 큰 문제입니다. 단순히 가동 중단만의 문제가 아니라, 그로 인해 웨이퍼가 오염되고 생산 효율도 저하됩니다. 저희도 같은 경험을 했습니다. 그래서 저희는 이중관 구조의 금 도금 램프를...

클래스 100급 청정실을 계속 깨끗하게 유지하는 방법 클래스 100급 환경에서는 위험도가 매우 높습니다. 아주 작은 피부 조각이나 먼지 한 점만 있어도 문제가 됩니다. 그러면 웨이퍼가 망가지거나 고정밀 렌즈도 사용할 수 없게 됩니다. 문제는 대부분의 가열 장치들이 이...

왜 청정실에서는 대류식 오븐 대신 적외선 램프를 사용하는가? 반도체 연구실에서 일해본 사람이라면, 전통적인 대류식 오븐의 단점을 잘 알 것입니다. 공기를 가열하여 부품을 데우는 방식이기 때문에 시간이 많이 걸립니다. 또한 에너지 소비도 많습니다. 솔직히 말해서, 오염...

열을 낭비하지 마세요: 알루미늄 반사체의 장점 IR 램프의 문제점은 바로 열이 모든 방향으로 퍼진다는 것입니다. 마치 어디로 빛을 비춰야 할지 모르는 전구와 같죠. 반도체 장비에서는 이것이 큰 문제가 됩니다. 그 에너지를 제어하지 않으면, 그 에너지의 상당 부분이 장...

휘발성 화학물질이 있는 곳에서 적외선을 사용할 때 안전을 유지하는 방법 화학물질으로 물건을 청소하는 작업을 하신다면, 사용되는 용매들이 대부분 인화성이 있거나 심지어 폭발성이 있다는 것을 잘 알고 계실 것입니다. 여기에 일반적인 적외선 램프를 사용하면 문제가 생깁니다...

화학물질이 있는 곳에서 적외선 램프를 안전하게 사용하는 방법 솔직히 말해서, 화학물질 처리 구역에서 적외선 램프를 사용하는 것은 다소 위험한 일입니다. 휘발성 기체들이 존재하기 때문에, 작은 스파크나 램프 내부의 작은 균열만으로도 큰 재앙이 발생할 수 있습니다. 이러...

웨이퍼의 오염을 사전에 막으세요: 더 스마트한 방식으로 세정 램프를 사용하는 방법 솔직히 말해서, 고부하 상태에서 쿼츠 튜브가 파손되면 정말 골칫거리입니다. 단순히 가동 중단만의 문제가 아니라, 실리콘 표면에 유리 조각과 할로겐 가스가 퍼지는 문제도 생깁니다. 이는...

실제 환경에 적합하게 설계된 적외선 램프 우리는 최고의 성능을 얻기 위해 엄청난 비용을 지불해야 하는 엔지니어들을 위해 이 적외선 램프를 만들었습니다. 이 램프는 고가의 국제적인 브랜드 제품들에 대한 훌륭한 대안입니다. 특히 웨이퍼 건조에 매우 유용합니다. 핵심은,...

웨이퍼의 버닝 과정이나 포토레지스트 건조 과정에서 발생하는 온도 변동은 아무런 경고 신호 없이 일어납니다. 이러한 변동은 선의 굵기 변화, 접착력 약화, 그리고 전기 테스트 단계에서야 비로소 드러나는 수율 저하로 나타납니다. 우리는 이러한 문제가 발생하기 전에 미리...

팹 내에서는 베이킹 온도가 0.5°C만 변동해도 치명적인 차이가 생겨나며, 이로 인해 제품의 품질이 기준치에 미치지 못할 수 있습니다. 소프트 베이크와 하드 베이크는 단순한 가열 과정이 아닙니다. 이들은 전체 리소그래피 공정에서 필요한 열 조건을 결정하는 역할을 합니...

팹 플로어에서 포토레지스트 베이크는 단순한 공정 단계가 아니라 허용 오차 한계선에 해당한다. 소프트 베이크나 하드 베이크에서 2°C의 편차는 CD 바이어스를 이동시키고, 사이드월 프로파일을 기울게 하며, 입자 수치를 규격 밖으로 벗어나게 만든다. Evatec 증발기...

포장 라인에서, 칩이 착지하는 순간부터 시간이 시작된다. 정렬하고, 도포하며, 경화한다. 램프가 점화된다. 열 프로파일이 단 1도라도 흐트러지면, 접합선 내부 기포, 완전히 활성화되지 않은 플럭스, 혹은 어레이 전체에 걸쳐 불균일하게 경화되는 에폭시를 감수해야 한다....