악몽을 막으세요: 히터가 고장났을 때 웨이퍼를 깨끗하게 유지하는 방법
반도체 청정실에서 일해본 적이 있다면 그 불안감을 잘 알 것입니다. 적외선 램프가 파손되면, 갑자기 유리 조각들과 텅스텐 필라멘트들이 웨이퍼 위로 떨어집니다. 이는 엄청난 재앙입니다. 즉시 오염이 발생하고, 웨이퍼도 폐기됩니다.
우리 모두 그런 상황을 겪어봤기 때문에, 고부하 생산 환경에서도 문제가 발생하지 않도록 특별한 히터를 설계했습니다.
“파손” 문제 해결하기
램프가 견딜 수 있기를 바라는 것만으로는 충분하지 않습니다. 그건 너무 위험한 방법입니다. 대신, 우리는 적외선 소자를 강화된 케이지나 고순도 석영 소재로 만든 커버 안에 넣습니다. 만약 램프가 열충격으로 인해 파손되거나 수명이 다해 버리더라도, 그 커버가 모든 파편들을 가두어줍니다. 그렇게 되면 파편들이 웨이퍼로 날아가지 않고, 웨이퍼는 계속 깨끗한 상태를 유지할 수 있습니다. 이렇게 하면 잠재적인 재앙을 제어 가능한 수준으로 줄일 수 있습니다.
파손을 방지하는 과학적 원리
우리는 온도 변화에도 잘 견디는 특수한 등급의 석영 유리를 사용합니다. 이 유리는 열팽창 계수가 낮아서, 열이 급격히 상승하거나 빠르게 식어도 파손되지 않습니다. 또한, 가열 요소의 위치를 정확하게 조절하여, 유리가 과도한 열에 의해 손상되지 않도록 합니다.
간단한 유지보수
램프가 결국 고장나더라도, 반드시 시간을 들여 고치려고 할 필요는 없습니다. 우리는 표준화된 커넥터를 사용하여 고장난 램프를 쉽게 교체할 수 있습니다. 트롤리의 위치를 조절할 필요도 없습니다. 매우 간단합니다.
다만 한 가지 주의할 점이 있습니다. 고출력 램프는 엄청난 양의 복사열을 발생시킵니다. 이 열이 트롤리 프레임에 전달되면, 레일이 비틀어질 수 있습니다. 그러면 웨이퍼의 위치가 망가집니다. 따라서 냉각 팬이나 히트 싱크가 제대로 작동하는지 확인해야 합니다. 우리는 여러분의 장비에 적합한 냉각 시스템을 선택할 수 있도록 필요한 모든 정보를 제공해 드립니다.