웨이퍼 손상 테스트용 가열 램프

웨이퍼의 버닝 과정이나 포토레지스트 건조 과정에서 발생하는 온도 변동은 아무런 경고 신호 없이 일어납니다. 이러한 변동은 선의 굵기 변화, 접착력 약화, 그리고 전기 테스트 단계에서야 비로소 드러나는 수율 저하로 나타납니다. 우리는 이러한 문제가 발생하기 전에 미리...