MEMS wafer’lerini kurutmanın daha iyi bir yolu
Dürüst olalım: MEMS sensör wafer’lerini kurutmak oldukça zor bir iş. Nemin tamamen giderilmesi gerekiyor; ancak herhangi bir kalıntının kalmaması da şart. Ayrıca, aşırı sıcaklık değişiklikleriyle malzemeye zarar verilmemesi de önemli. Uzun süre boyunca, bu wafer’leri sadece konveksiyon fırınlarında kurutmaya çalıştık. Ancak bundan çok daha akıllıca bir yöntem var.
Kısa dalga infraruj ısıtma yöntemini kullanıyoruz. Küçük bir wafer’i kurutmak için devasa bir hava odasını ısıtmak yerine, infraruj ışınları doğrudan su moleküllerine etki ediyor. Bu yöntem daha temiz, daha hızlı ve çok daha verimli.
Hız ve enerji tasarrufu
Hız açısından büyük farklar var. Süreler dakikalardan saniyelere düşüyor. Isı akısı o kadar yoğun ki, ısı hemen wafer yüzeyine ulaşıp işe başlıyor. Ayrıca, elektrik faturanız da azalacak. Boş alanları ısıtarak enerji israf etmiyorsunuz. Eğer fabrikanız yeşil sertifikalar elde etmeye veya karbon nötrlüğü hedeflerine ulaşmaya çalışıyorsa, bu en kolay çözümlerden biridir.
Donanım detayları
Bu ısıtıcıları yüksek saflıkta kuvars malzemelerle üretiyoruz. Neden mi? Çünkü bu malzemeler hızlı ısıtma ve soğutma koşullarına dayanabiliyor. Ayrıca lambaların yaydığı ışığın spektrumunu ayarlamak için kaplamalar kullanıyoruz. Böylece ısı, suyun uzaklaştırılması için gerekli olan tam dalga boyunda wafer yüzeyine ulaşıyor.
Kurulumu oldukça basit. Standart endüstriyel konektörler kullanarak bunları mevcut sistemlerinize bağlayabilirsiniz. Ancak dikkat edilmesi gereken bir nokta var: Bu lambalar oldukça güçlü. Soğutma sisteminizin bu yükü kaldırabileceğinden emin olmalısınız. Eğer ısı değiştiricileriniz elektronik bileşenlerden gelen ısıyı uzaklaştıramazsa, bileşenleriniz zarar görebilir.
Bu değişiklikler ne anlama geliyor?
Bu yöntemi kullandığınızda, devasa hava işleme ünitelerinden ve gürültülü, yüksek basınçlı üfleyicilerden kurtulabilirsiniz. Böylece yerden tasarruf edersiniz ve enerji tüketiminiz azalır. Ancak bir sakınca var: Mesafe önemli. Eğer lamba wafer’e çok yakınsa, sıcak noktalar oluşur ve bu da sorunlara yol açar. Bunun önüne geçmek için kapalı döngülü PID kontrol cihazları kullanılmasını öneriyoruz. Bu sayede yüzey sıcaklığı ±2°C aralığında sabit tutulur ve wafer’lerinizin güvende olduğundan emin olabilirsiniz.