Evatec 蒸发器加热灯

在晶圆厂车间，光刻胶烘烤不仅仅是工艺中的一个步骤——它是公差窗口的边界。软烘烤或硬烘烤温度漂移2°C，会导致CD偏差，侧壁轮廓倾斜，并使颗粒计数超出规范。Evatec蒸发器加热灯设计用于稳固控制这一热边界。 技术关键点 Evatec的灯具能够快速、干净地发射红外能量，且晶圆级均匀性严格，确保软烘烤...