高能效晶圆加热器

控制智能工厂中的加热过程 如果你正在打造一个智能工厂，那么你一定已经意识到，那些传统的加热系统已经无法满足需求了。使用旧式的加热设备来驱动高科技、数据驱动的制造流程是不可能的。你需要的是能够高效工作的加热系统。 这时，红外线加热技术就派上用场了。它是最快的将晶圆加热到所需温度的方法，因此对于需要精...