别再为晶圆污染问题烦恼了 在半导体制造厂中，照明灯出现故障简直就是噩梦。这不仅会导致生产中断，还会造成设备损坏。当石英管在高负荷运行时破裂，碎片会四处飞溅，从而污染晶圆，进而降低产品的良率。 我们曾经遇到过这样的问题。正因如此，我们才设计了双管结构且表面镀金的照明灯。 秘诀在于设计思路。 大多数照...

保持晶圆清洁：关于红外灯故障的真相 在高产量的生产环境中，如果红外灯发生故障，那可不仅仅是麻烦事，简直就是一场灾难。如果红外灯在硅晶圆上方爆炸，那么不仅会导致生产中断，还会让玻璃碎片和化学物质溅到晶圆上。这无疑属于二次污染，后果不堪设想。我们特意设计了带有金反射层的红外灯，就是为了避免这种情况的发...

在芯片制造过程中，烘烤温度只要偏差0.5摄氏度，就足以导致芯片的尺寸出现纳米级的变化，进而使产品的合格率下降。所谓的“软烘烤”和“硬烘烤”，其实并不是简单的加热步骤而已，它们实际上决定了整个光刻流程中的热量控制参数。 关键在于内部结构 我们使用镀金的红外线灯，这类灯光能够发出近乎单色的近红外光，从...