红外加热与热风加热：哪种方式更适合您的洁净室？ 在为半导体加工选择烤箱时，其实只需要考虑一个因素：如何传递热量。大多数人会选择使用热风加热。也就是先加热水分，再通过风扇将热风吹到被加工的元件上，希望热风能均匀地覆盖整个表面。而红外加热则完全不同——它不需要借助空气来传递热量。其原理就像夏日里的阳光...

为什么我们在洁净室中选择红外灯而非传统对流式烤箱 如果你曾在半导体实验室工作过，就会知道传统对流式烤箱的缺点。它通过加热空气来加热工件，而这个过程极为缓慢。而且，它还会消耗大量电能。说实话，这种方式很容易造成污染问题。 因此，我们开始使用红外灯。尤其是在现在大家都追求无铅、环保的标准之下，我们处理...

避免灾难：在加热器失效时保持晶圆清洁 如果你曾在半导体洁净室工作过，就会明白那种情况有多糟糕。一旦红外灯损坏，玻璃碎片和钨丝就会掉落在晶圆上，这无疑是一场灾难——晶圆立刻被污染，只能废弃。 我们都经历过这种情况，因此我们设计了专门的加热装置，以便在高峰生产期间也能避免此类问题。 应对“灯管破裂”的...

为什么在洁净室中，红外加热比强制空气加热更高效？ 如果你曾经参与过半导体加工工作，那么你就知道加热环节所带来的困扰。大多数传统设备都依赖强制空气加热方式。你可以看到那些巨大的鼓风机，它们不断运转着，试图将热空气输送到所需区域，以使温度达到设定值。 问题在于，空气本身并不擅长传递热量。它的效率很低。...

在芯片制造过程中，光阻烘烤时的温度波动若达到0.3℃，那可绝不是“小误差”——这实际上会导致产品合格率下降。软烘烤和硬烘烤的温度设定决定了关键尺寸的精度，而一旦晶圆表面的温度分布不均，蚀刻过程的选择性也会受到影响。提升洁净室的加热系统并非只是为了表面上的改善，而是为了实现更精确的过程控制。 我们采...