更好的MEMS晶圆干燥方法
说实话，干燥MEMS传感器晶圆其实是一件很麻烦的事。必须去除其中的湿气，但同时不能留下任何残留物，而且也不能让材料因温度剧烈变化而受到损伤。长期以来，人们只能将晶圆放入对流式烤箱中试图让它们干燥。但实际上，有更高效的方法。
我们改用了短波红外线加热技术。与通过整个空间来加热晶圆相比，红外线可以直接作用于水分子。这种方式更加高效、快速且干净。
速度与效率
其速度优势极为显著。处理时间可以从几分钟缩短到几秒之内。由于热量集中于晶圆表面，因此可以立即开始干燥过程。此外，这样做还可以节省电费——因为你不必浪费电能去加热空气。如果你所在的工厂正在努力获得绿色认证或实现碳中和目标，那这就是最简单的解决方案之一。
设备结构
这些加热器采用高纯度石英材质制成。因为这种材料能够承受快速的加热和冷却过程而不破裂。此外，我们还会对灯管进行特殊处理，以调整其发射光谱，从而确保热量以最适合的波长作用于晶圆上，从而有效去除水分。
安装起来也很简单。只需使用标准的工业连接器将其连接到现有的系统中即可。不过需要注意的是，这些灯管的功率相当大，因此必须确保冷却系统能够有效带走产生的热量。否则，电子元件就会被烧毁。
带来的好处
一旦采用这种技术，就可以省去那些庞大的空调设备和噪音大的高压鼓风机。这样一来，不仅空间得到释放，能耗也会降低。不过，有一点需要注意：灯管与晶圆之间的距离很重要。如果距离过近，会导致局部过热，从而引发问题。为了解决这个问题，我们建议使用闭环PID控制器，这样就能将表面温度控制在±2℃范围内，从而确保晶圆的安全。