Infrarotheizung vs. Heiße Luft: Welche Methode eignet sich wirklich für Ihren Reinraum?
Wenn man einen Ofen für die Halbleiterverarbeitung auswählt, kommt es im Grunde nur auf eine Sache an: Wie soll die Wärme übertragen werden?
Die meisten Menschen beginnen mit der Verwendung von heißer Luft. Dabei wird die Luft erhitzt und mit Ventilatoren durch den Raum geblasen – in der Hoffnung, dass die Wärme gleichmäßig auf das zu behandelnde Material gelangt. Doch Infrarotheizung funktioniert völlig anders. Dabei wird die Luft ganz weggelassen. Es ist eher so, als würde Sonnenlicht auf die Haut treffen – die Energie gelangt direkt von der Quelle zum Ziel.
Das Warten
Der Nachteil der Heißluftmethode ist das Warten. Man muss zunächst den gesamten Innenraum des Ofens erhitzen, bevor die zu behandelnden Teile überhaupt Wärme spüren. Das ist äußerst zeitaufwendig.
Wenn man die Bearbeitungszeiten in Sekunden messen muss, ist dieses Warten ein echtes Problem. Es handelt sich dabei um ein Engpass, der alles verlangsamt.
Infrarotheizung – eine andere Lösung
Bei der Infrarotheizung trifft die Wärme fast sofort ihr Ziel. Die Bearbeitungszeit kann dadurch von Minuten auf Sekunden reduziert werden. Man muss nicht darauf warten, bis die Luft „stabil“ ist. Man schaltet den Ofen einfach ein – und schon ist es warm.
Kompromisse (denn nichts ist perfekt)
Einer der Vorteile der Infrarotheizung ist, dass man die Wärme gezielt an bestimmte Stellen lenken kann. Dadurch wird das gesamte Gerät nicht übermäßig erhitzt. Zudem wird das Klimasystem des Reinraums entlastet, da weniger überschüssige Wärme in den Raum abgegeben wird.
Aber man muss vorsichtig sein: Infrarotstrahlung benötigt eine Sichtlinie zum Ziel. Wenn die zu behandelnden Teile stapelartig angeordnet sind oder komplizierte Formen haben, entstehen kühle Stellen. Man kann den Ofen nicht einfach so einschalten – man muss die Position der Lampen genau einstellen, damit die Wärme gleichmäßig verteilt wird.
Außerdem: Solche hochleistungsstarken Lampen werden in kleinen Bereichen extrem heiß. Wenn man die Kühlung nicht richtig einstellt, wird die Ofenhülle zu einem riesigen Radiator – das kann die Umgebungstemperatur im Reinraum beeinträchtigen.
Auf den Umstieg
Viele Betriebe, die zu einer höheren Prozessgeschwindigkeit übergehen möchten, verzichten auf Ventilatoren und nutzen stattdessen Infrarotheizung. Dadurch wird weniger Platz benötigt, und die Bearbeitungszeit verkürzt sich erheblich.
Am besten ist noch: Man muss nicht mehr dafür bezahlen, Luft zu erhitzen, die anschließend wieder aus dem Fenster geleitet wird. Das macht einfach mehr Sinn.