はじめに
こんな状況を想像してみてください。高負荷の真空チャンバーを運用していると、小さなヒーターランプが壊れてしまいます。そうなると、全体の作業が停止してしまいます。さらに悪いことに、高価なウェーハが汚染されてしまうのです。
まさにそのために、私たちは真空チャンバー用の赤外線ヒーターを開発したのです。これは単なる部品ではありません。時間やお金、そして精神的なストレスを招くような問題に対する直接的な解決策なのです。つまり、ランプの故障やそれに伴う混乱を避けつつ、強力で制御可能な熱を供給するのです。
出力とサイズ：実力の証
私たちのヒーターの特徴は、狭いスペースで大きな出力を発揮できる点です。400V、2500Wの出力により、チャンバーを短時間で所定の温度に持っていけます。このような高出力により、300mmのチューブが狭い領域に集中的に熱を加えることができます。
しかし、このような高出力にはデメリットもあります。大量の熱が発生するため、チャンバーの冷却システムが十分な性能を持っている必要があります。ご使用の際は、機械の冷却機能が余分な負荷に耐えられるか確認してください。
頑丈な構造
このシステムの核心は、石英チューブ内に収められた短波ハロゲン赤外線素子です。石英は非常に頑丈で、急速な加熱・冷却サイクルにも耐えられ、真空下でも安定した状態を保ちます。
また、チューブには特別なコーティングが施されており、熱を均一に分散させ、材料が損傷するのを防ぎます。さらに、接続部にはR7sタイプのコネクタが使用されています。これにより、ランプの交換が簡単に行えます。この設計により、電気的な部分と真空環境が分離され、チャンバーが清潔に保たれます。
プレッシャーの中でも安心できる
ウェーハの処理において、最も懸念されるのはランプの故障と、それによって引き起こされる混乱です。
私たちのヒーターは、突然の故障にも耐えられるように設計されています。高負荷の状況でも破損しないように、素材や形状が選ばれています。また、万が一ランプが故障しても、その設計によりほとんどの破片が処理工程に混入するのを防ぎます。つまり、ウェーハが汚染される心配がないのです。安定した熱供給、迅速な加熱、そして予期せぬメンテナンスの停止が減ります。大量生産を行う人々にとって、これは非常に重要な要素です。