와이어 표면 산화용 가열 소자

산화 공정에서는 온도의 안정성이 단순히 중요한 요소가 아니라, 전체 공정의 핵심입니다. 웨이퍼의 온도가 1°C만 변해도 산화막의 두께가 앙스트롬 단위로 변하게 되며, 이는 장치의 성능을 저하시켜 수시간에 걸친 작업 결과를 망쳐버릴 수 있습니다. 우리는 바로 이러한 불...