조각들을 막아라: 램프가 고장났을 때 웨이퍼를 안전하게 보호하기 대규모 생산 공장에서 램프가 고장나는 것은 큰 문제입니다. 단순히 생산이 중단되는 것뿐만 아니라, 현장이 엉망이 됩니다. 만약 적외선 램프가 웨이퍼 바로 위에서 터진다면, 온갖 유리 조각과 화학 물질들이...

반도체 제조 공장에서 온도의 변동은 단순한 교정 문제가 아닙니다. 이는 웨이퍼의 품질을 해치는 요인이 됩니다. 포토레지스트를 건조시킬 때 1°C만큼의 온도 변동이 있어도 웨이퍼의 형상에 영향을 주며, 불균일한 건조로 인해 웨이퍼에 자국이 생겨 궁극적으로 생산성이 저하...