IR 가열과 열풍 가열: 귀하의 클린룸에는 어떤 것이 적합할까요? 반도체 처리용 오븐을 선택할 때 고려해야 할 것은 단 하나입니다. 바로 열을 어떻게 전달할 것인가 하는 점입니다. 대부분의 사람들은 열풍 가열 방식을 선호합니다. 공기를 가열한 다음 팬을 이용해 그 공...

왜 청정실에서는 대류식 오븐 대신 적외선 램프를 사용하는가? 반도체 연구실에서 일해본 사람이라면, 전통적인 대류식 오븐의 단점을 잘 알 것입니다. 공기를 가열하여 부품을 데우는 방식이기 때문에 시간이 많이 걸립니다. 또한 에너지 소비도 많습니다. 솔직히 말해서, 오염...

악몽을 막으세요: 히터가 고장났을 때 웨이퍼를 깨끗하게 유지하는 방법 반도체 청정실에서 일해본 적이 있다면 그 불안감을 잘 알 것입니다. 적외선 램프가 파손되면, 갑자기 유리 조각들과 텅스텐 필라멘트들이 웨이퍼 위로 떨어집니다. 이는 엄청난 재앙입니다. 즉시 오염이...

왜 클린룸에서는 적외선 가열이 강제 공기 순환 방식보다 우수한가? 반도체 제조 과정에 관여해 본 사람이라면, 가열 과정에서 발생하는 문제들을 잘 알고 있을 것입니다. 대부분의 구식 설비들은 강제 공기 순환 방식을 사용합니다. 그러니까, 엄청난 크기의 송풍기들이 돌아가...

팹 내에서는, 포토레지스트를 굽는 과정에서 0.3°C라는 미세한 온도 변화도 결코 “작은 오차”가 아닙니다. 이는 바로 생산 효율 저하의 원인이 됩니다. 소프트 베이크와 하드 베이크의 온도 설정은 웨이퍼의 치수 안정성을 결정하는 핵심 요소입니다. 웨이퍼 전체에 걸쳐...