真空兼容红外加热器

在线上，晶圆从旋涂机出来后，光刻胶需要迅速固化——且不能有任何冷热不均的区域。软烘或硬烘时温度偏差几度，就会面临残余溶剂、图形塌陷和良率下降的问题。加热器必须提供可重复的温度控制，防止颗粒进入，并在真空环境下保持稳定，同时不干扰腔室内环境。 关键技术 我们基于短波近红外（NIR）光源设计了真空兼容...