红外灯用铝制反射器
别再浪费热量了:使用铝制反射器的优势 红外灯的问题在于:它们会向各个方向散发热量,就像一盏不知道该把光线指向何处的灯泡一样。在半导体制造过程中,这种情况简直是个灾难。如果不对这些热量进行控制,大部分热量都会直接照射到设备的外壳上。这样一来,设备外壳就会变得非常烫,这不仅会烫伤操作人员,还可能损坏设...
带金质反光镜的红外灯泡
保持晶圆清洁:关于红外灯故障的真相
在高产量的生产环境中,如果红外灯发生故障,那可不仅仅是麻烦事,简直就是一场灾难。如果红外灯在硅晶圆上方爆炸,那么不仅会导致生产中断,还会让玻璃碎片和化学物质溅到晶圆上。这无疑属于二次污染,后果不堪设想。我们特意设计了带有金反射层的红外灯,就是为了避免这种情况的发...
晶圆固化灯用反光镜
在污染发生之前就加以防止:更智能的固化灯处理方式
坦白说,当石英管在高负荷工作时破裂时,那真是一场噩梦。不仅会导致生产暂停,还会让硅片表面沾满玻璃碎片和卤素气体。这种情况既麻烦又昂贵,更是让人头疼的问题。
我们通过重新设计灯具结构来避免这种情况的发生。我们为灯具设计了防护罩以及高反射率的外壳。
秘...