引言 想象一下：您正在操作一台高负荷的真空室，结果其中一只加热灯突然坏了。整个生产流程就会停止。更糟糕的是，那些价值不菲的晶圆也会因此受到污染。 正因如此，我们才设计了这种真空室用红外线加热器。它并非普通的组件，而是为解决那些可能带来时间、金钱损失以及操作麻烦的问题而设计的解决方案。其原理很简单：...

在线上，晶圆从旋涂机出来后，光刻胶需要迅速固化——且不能有任何冷热不均的区域。软烘或硬烘时温度偏差几度，就会面临残余溶剂、图形塌陷和良率下降的问题。加热器必须提供可重复的温度控制，防止颗粒进入，并在真空环境下保持稳定，同时不干扰腔室内环境。 关键技术 我们基于短波近红外（NIR）光源设计了真空兼容...