晶圆氧化加热元件

在氧化处理过程中，温度的稳定性并非可有可无的要素——它实际上决定了整个工艺的成败。如果晶圆的温差达到1摄氏度，其上的氧化层厚度就会发生微小的变化，而这种变化足以导致器件性能不符合标准，进而使得数小时的努力付诸东流。我们设计的这些加热元件就是为了消除这种不确定性。 从技术层面来看，重要的是： 能够将...