用于光刻机的石英玻璃防护罩
如何确保红外线灯在易燃化学物质周围的安全使用 说实话,在含有易燃化学物质的环境中使用红外线灯确实让人担忧。因为那里有易挥发的蒸汽,一旦出现火花或灯管出现微小的裂纹,那就不仅仅是技术故障而已——那简直就是一场灾难的开端。
为避免这种情况发生,我们会用专门的石英玻璃罩来包裹红外线灯。可以说,这层玻璃就...
高纯度石英加热元件
线上温度不是背景设置,而是核心工艺杠杆——不能凭感觉对待。
在晶圆干燥、光刻胶烘烤、封装固化和清洗干燥过程中,加热元件处于产率和重复性的核心位置。热区中的冷点、浸泡期间的漂移,或热循环后颗粒峰值,都会表现为污渍、残留溶剂、关键尺寸控制不良,或数周后返工的良率问题。该元件不仅仅是产生热量,还必须以晶...