UHP 超高纯度 加热灯
为何我们要如此重视UHP加热灯的绝缘性能测试? 在处理超高纯度UHP加热灯时,意味着要面对极高的温度,而且容错率极低。如果将这些加热灯用于半导体或制药设备中,其后果将十分严重。哪怕有微小的电气泄漏,也足以导致整批晶圆报废,或是让无菌环境被破坏。这真是没人愿意遇到的噩梦。
我们会对每一盏灯进行测试,...
高纯度石英加热元件
线上温度不是背景设置,而是核心工艺杠杆——不能凭感觉对待。
在晶圆干燥、光刻胶烘烤、封装固化和清洗干燥过程中,加热元件处于产率和重复性的核心位置。热区中的冷点、浸泡期间的漂移,或热循环后颗粒峰值,都会表现为污渍、残留溶剂、关键尺寸控制不良,或数周后返工的良率问题。该元件不仅仅是产生热量,还必须以晶...