なぜカーボンファイバーIRがスマートファブの鍵となるのか 新しいスマートファブを構築する際、おそらく皆さんもご存知の通り、すべての要素を迅速かつ正確に接続する必要があります。しかし、多くの人が直面する問題があります。それが加熱です。 従来のヒーターは反応が遅く、温まるのに時間がかかり、冷却にも長い...

なぜ、すべてのランプチューブに対してストレステストを行うのか？ 私たちは「抽出検査」は行いません。工場を出るすべてのランプチューブは、耐電圧試験や絶縁抵抗試験を受けます。 その理由はこうです。製造現場では、わずかな電気漏れでも大問題です。フューズが切れるだけでなく、大量のウェーハが破壊され、生産が...

クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つ方法 クラス100の環境では、失敗の代償は非常に大きい。わずかな皮膚の破片やほこりの粒子だけで、ウェハーが台無しになったり、高精度なレンズが使えなくなったりしてしまう。 問題は、一般的な加熱素子ではこれに対応できないということです。加熱・冷却の際に...

なぜ私たちが工場でIR硬化法を採用するのか 乾燥工程のエネルギー消費をチェックするとき、私が最も重視するのは「工程の速度を落とさずに、どうやって炭素排出量を減らすか」という点です。 従来の対流式オーブンは、大量の空気を加熱する巨大な装置に過ぎません。これは完全な無駄遣いです。ウェーハを加熱するため...

半導体製造における炭素排出量の削減：重要なのは熱がどこに行くかということです。 半導体工場では、精度が何よりも重要です。しかし、長年にわたり、私たちは従来の抵抗式ヒーターを使ってきました。これらはまるで巨大なエアヒーターのようで、ウェハを温める役割は果たしますが、同時に機械全体を温めるために多くの...

可燃性化学物質の近くでIRランプを安全に使用するために 正直に言って、化学洗浄エリアでIRランプを使うのは少し心配です。そこでは不安定な蒸気が存在しており、わずかな火花やチューブの小さな亀裂でも、単なる技術的な故障ではなく、大災害を引き起こす可能性があります。 そうした事態を防ぐために、私たちはフ...

ファブの現場では、フォトレジストを焼成する際に0.3℃もの温度変動があると、それは「小さなエラー」とは言えません。これは単純に歩留まりの低下を意味します。ソフトベイクやハードベイクの温度設定によって、ウェーハ上の温度均一性が決まりますが、ウェーハ全体で温度均一性が保てないと、エッチングの選択性も不...

ファブ内では、温度の変動は単なる校正上の問題にとどまりません。それによってウェーハが破棄されてしまいます。フォトレジストを加熱する際に1℃の変動があるだけで、CD値が変わってしまい、また不均一な乾燥によって水痕が残り、結果として歩留まりが低下します。特に高温環境下では、一定で再現性の高い温度管理が...