クラス100のクリーンルームを本当に清潔な状態に保つ方法 クラス100のクリーンルームを運営している人なら、その苦労はよくわかるでしょう。微細なほこりと戦っているわけですが、あらゆる機器が潜在的な問題源となり得ます。一般的なヒーターは特に悪影響を与えやすく、ガスを放出したり、剥がれ落ちたりして、望...

なぜカーボンファイバーIRがスマートファブの鍵となるのか 新しいスマートファブを構築する際、おそらく皆さんもご存知の通り、すべての要素を迅速かつ正確に接続する必要があります。しかし、多くの人が直面する問題があります。それが加熱です。 従来のヒーターは反応が遅く、温まるのに時間がかかり、冷却にも長い...

なぜバイオセンサーに赤外線硬化技術を用いるのか バイオセンサーを作るとき、熱処理の工程は非常にデリケートです。ポリマーや接着剤を硬化させる必要がありますが、基板を壊してしまってはいけません。 そのため、私たちは赤外線ランプを利用します。このランプは、熱風を送る代わりに放射エネルギーを使って加熱を行...

チューブの破裂を防いで、一日を台無しにしないようにする バイオセンサーの製造において、1つの不良なランプがあるだけで、大量のウェーハが台無しになってしまいます。これは本当に悪夢的な状況です。 高負荷状態でクォーツチューブが破裂すると、単なる稼働停止だけでは済みません。ガラスの破片や金属の粉が作業場...

なぜ、バイオセンサーの研究でホットエアの代わりに赤外線を使うのか？ バイオセンサーを作る際、硬化や乾燥の工程が最も面倒な部分です。長年にわたり、標準的な方法はホットエアを使用することでした。しかし正直、これは非常に非効率的な方法です。 問題は、空気を利用するシステムでは、センサー自体が温まる前に、...

無駄なくウェーハを乾燥させる方法 正直に言って、従来の対流型オーブンは、現代の半導体製造施設にとってはまさに悩みの種です。大きくて、エネルギー消費も多く、また、鉛フリーで環境に優しい基準にも合致しません。 そのため、私たちは洗浄工程で防水機能付きの赤外線ランプを使用しています。大量の空気を加熱する...

より効果的な加熱で、浴室の湿気と戦いましょう ほとんどの浴室用ヒーターは、単に空気を温めるだけです。問題は、空気は移動しやすく、冷えてしまうため、壁にできる厄介な湿気を根本的に解消することができないという点です。 私たちは違う方法を採用しています。IP55等級の短波赤外線エミッターを使用します。こ...

IR加熱と熱風加熱：どちらが実際にクリーンルームで有効なのか？ 半導体加工用のオーブンを選ぶとき、重要なのは「熱をどのように伝えるか」という点です。 ほとんどの場合、まずは強制送風方式が採用されます。空気を加熱し、ファンで送風して、ウェハ全体に均等に熱が行き渡るようにします。しかし、IR加熱は全く...

クラス100のクリーンルームを常に清潔な状態に保つ方法 クラス100の環境では、失敗の代償は非常に大きい。わずかな皮膚の破片やほこりの粒子だけで、ウェハーが台無しになったり、高精度なレンズが使えなくなったりしてしまう。 問題は、一般的な加熱素子ではこれに対応できないということです。加熱・冷却の際に...

なぜクリーンルームでは対流式オーブンの代わりにIRランプを使用するのか？ 半導体製造ラボで働いたことがある人なら、従来の対流式オーブンの問題点をよく知っているでしょう。空気を加熱し、その空気が部品を温めるという仕組みです。しかし、これは非常に時間がかかります。また、エネルギー消費も多いです。正直、...

なぜ、バスルームには「温かい空気」だけでは不十分なのか？ ほとんどの人は、防水型の赤外線ヒーターというのは、シャワーから出た後に体が冷えないようにするためのものだと思っています。しかし実際には、これはバスルームを乾燥させるための優れた装置なのです。 その秘訣は、このヒーターは部屋全体の空気を温めよ...

IRヒーターの配線封止に関する真実 正直に言って、バスルームという環境は電子機器にとって最悪の場所です。高い温度と高い湿度が繰り返し作用するのです。これは本当に厳しい状況です。 ほとんどの安価な赤外線ヒーターは、配線の封止がうまく機能しなくて結局廃棄されてしまいます。封止部分が割れると、湿気が中に...

ウェーハをきれいに保つために：IRランプの故障に関する真実 大量生産の工場では、ランプが壊れるというのは単なる悩み事以上の問題です。それはまさに苦悩そのものです。 もし赤外線ランプがシリコンウェーハの真上で壊れてしまったら、単に生産が止まるだけではありません。ガラスの破片や化学物質が製品に降り注ぎ...

装置をオーブンのように使うのはやめましょう 正直に言って、装置の間違った部分を加熱するのは、単なる無駄遣いです。また、危険でもあります。 もし標準的な赤外線ランプを使用しているなら、そのランプがあらゆる方向に熱を放つことに気づいているでしょう。つまり、360度全方位に熱が放出されるのです。すると、...

揮発性化学物質の周りで赤外線ヒーターを使用する際の安全対策 もし化学洗浄ラインを運用しているなら、ご存知の通り、使用される溶剤は多くが可燃性であり、さらに悪いことに爆発性のものもあります。そこに通常の赤外線ランプを使うと、問題が発生します。通常のランプはスパークを起こしたり、オゾンを発生させたりす...

なぜクリーンルームでは赤外線ヒーターの方が強制送風式より優れているのか？ 半導体製造の現場で働いたことがある人なら、加熱にかかる時間の長さがどれほど厄介かを知っているはずです。多くの古い方式では強制送風が使われています。巨大なファンが回り続け、熱い空気を特定の場所に送り込もうとしています。 しかし...

天井付きヒーターと戦わないでください ほとんどの天井付きヒーターは、設置した後はそのまま忘れてしまうものです。ただ、ヒーターの部品が壊れる日が来ると、大変なことになります。もし、その装置が簡単に取り外せるように作られていなければ、単純なランプを交換するだけでも大がかりな工事になってしまいます。天井...

天井と戦うのをやめよう：大きな部屋を効率的に温める方法 高級な更衣室や巨大なスポーツ施設にいたことがある人なら、その感覚はわかるでしょう。床の上で震えている間、高価なヒーターの熱はすべて天井付近に留まってしまいます。 これは本当にイライラします。通常の強制送風式ヒーターは、熱が上に上がってしまうた...

バスルーム用ヒーターの適切なワット数を見極める方法 熱いシャワーから出てきて、凍えるような寒さの中にいるのは最悪です。しかし、天井付きヒーターのワット数を間違って選んでしまうと、寒い場所で震えることになったり、実際には必要のないほど多くの電気代を支払うことになります。 実は、空気を温めているわけで...

グローブボックス内で加熱するのはやめよう：より効果的な熱処理方法 半導体製造において、グローブボックス内の部品を加熱しようとしたことがある人なら、その苦労はよくわかるでしょう。部品を温めたいけれど、装置全体をオーブンのようにしてしまったくないのです。 従来の対流式ヒーターは、力任せに加熱するため、...

実際に暖かいバスルームを作る方法（待つことなく） 1月の火曜日の朝にバスルームに入ったら、まるで冷凍庫の中にいるような感じになったことはありませんか？本当に最悪ですよね。 だからこそ、私たちは赤外線ヒーターを特別な仕組みで作っています。一般的なヒーターは周囲の空気を温める必要があり、時間がかかりま...

はじめに こんな状況を想像してみてください。高負荷の真空チャンバーを運用していると、小さなヒーターランプが壊れてしまいます。そうなると、全体の作業が停止してしまいます。さらに悪いことに、高価なウェーハが汚染されてしまうのです。 まさにそのために、私たちは真空チャンバー用の赤外線ヒーターを開発したの...

ミラー型赤外線ヒーター：本当に暖かいバスルームの秘訣 熱いシャワーを浴びた後、冷たいバスルームの空気に驚いたことはありませんか？私たち全員、そういう経験があります。そんな時こそ、ミラー型赤外線ヒーターが役立ちます。これは、普通の鏡でありながら同時にヒーターとしても機能し、余分なスペースを取ることな...

製造現場では、洗浄後に残るわずかな水跡だけで、大量のウェハーが不良品になってしまうことがあります。従来の乾燥方法では、ウェハー表面に温度勾配が生じ、その結果、ソフトベイク後にフォトレジストの厚みに不均一性が生じます。私たちは、そうした不均一性を根本から解消するために、インフラーレッドヒーターを開発...

寒い朝は、すべての活動を停滞させてしまいます。部屋に入ると、冷たい空気が心地悪く感じられ、一日が始まる前から敵対的な雰囲気に包まれます。しかし、赤外線ヒーターを使えば、電源を入れた瞬間に状況が一変します。遠赤外線によって空間全体が温められ、人や物の表面が直接温められます。待つ必要もなく、風の影響も...

製造現場では、焼成温度が0.5℃変動するだけで、ウェーハの寸法にナノメートル単位の誤差が生じ、製品の品質が基準を下回ってしまいます。ソフトベイクやハードベイクというのは単なる「加熱工程」に過ぎません。それらは、リソグラフィー工程全体の熱的条件を決定するものです。 内部で重要なのは何か 私たちは、金...

ライン上で、ウェーハがスピンコーターから取り出され、フォトレジストを迅速に均一にセットする必要がある。ソフトベイクやハードベイク時に数度の温度誤差があれば、残留溶剤やパターン崩壊、歩留まり低下といった問題に直面することになる。ヒーターは再現性のある温度を提供し、パーティクルを排除し、真空中でもチャ...