ウェーハバーンイン試験用ヒーターランプ

ウェーハのバーンインやフォトレジストのベイク処理中に温度が変動しても、それに対する警告は表示されません。その結果、線幅の変動や接着力の低下、そして電気的なテスト時に初めて問題が明らかになります。私たちは、このような変動を未然に防ぐために、NIR加熱ランプを開発しました。 重要なのは内部構造です こ...