ウエハーの汚染を心配するのはやめましょう。 半導体製造工場では、ランプの故障は大きな問題です。停電だけでなく、周囲が汚染されてしまうのです。高負荷状態でクォーツ管が破裂すると、破片が至る所に飛び散り、ウエハーが汚染され、歩留まりが低下してしまいます。 私たちも同じ経験をしました。だからこそ、2本の...

製造現場では、焼成温度が0.5℃変動するだけで、ウェーハの寸法にナノメートル単位の誤差が生じ、製品の品質が基準を下回ってしまいます。ソフトベイクやハードベイクというのは単なる「加熱工程」に過ぎません。それらは、リソグラフィー工程全体の熱的条件を決定するものです。 内部で重要なのは何か 私たちは、金...