無駄な熱の浪費をやめよう：アルミニウム反射板の利点 IRランプの問題点は、熱があらゆる方向に放出されることです。まるで、光がどこに向かっているのかわからない電球のようです。 半導体装置においては、これは大きな問題です。そのエネルギーを適切に制御しなければ、大部分のエネルギーが装置の壁に当たってしま...

ウェーハの汚染を未然に防ぐ：硬化ランプをより効果的に扱う方法 正直に言って、高負荷でウェーハを処理している最中に石英管が破裂すると、それは大変な問題です。単に生産停止になるだけでなく、シリコン表面にガラスの破片やハロゲンガスが付着してしまいます。これは非常に面倒で、コストもかかり、誰もが避けたい状...