省エネ型ウェーハヒーター

スマートファブの温度を制御する方法 スマートファブを構築する際、従来の加熱システムではもはや十分でないことがわかるでしょう。高度な技術やデータに基づいて作業を行うためには、古い方式の装置では不十分です。適切な加熱システムが必要です。 そこで役立つのが赤外線（IR）です。ウェーハの温度を迅速に上昇さ...