防止碎片飞溅：在灯具故障时保护晶圆安全 在那种高产量生产的工厂里，灯具熄灭无疑是一场灾难。这不仅仅意味着生产中断的问题，更会导致现场一片混乱。如果红外灯管在晶圆上方爆炸，那么到处都会是玻璃碎片和化学残留物。这样一来，整批晶圆都将被毁掉，而且还会带来很多麻烦。 我们设计的红外灯能够承受高温，这样就不...

在晶圆制造过程中，温度的波动不仅仅会带来校准上的麻烦，还会导致晶圆报废。在光阻烘烤过程中，哪怕温度仅变化1摄氏度，都可能使晶圆的尺寸出现偏差；而不均匀的干燥方式则会在晶圆上留下痕迹，进而影响产品的合格率。因此，需要的是稳定且可重复控制的温度，尤其是在高温环境下。 从技术角度来说，什么是最重要的？...