MEMS 硅片干燥加热器

在晶圆厂车间，晶圆从最终漂洗阶段出来——计时开始。如果干燥加热器跟不上，就会有水分被困在光刻胶下，几个小时后表现为光刻缺陷。我们设计的MEMS晶圆干燥加热器，旨在从源头降低此风险：稳定的热量，循环周期间无波动。 核心关键点 我们采用短波红外发射器，针对水和常用溶剂的吸收谱进行了调谐，使表面加热快速...