晶圆表面张力测量加热器

在晶圆车间，你清楚事情可能迅速出错。光刻胶软烘温度漂移1°C 会导致CD偏移。干燥不均匀？那就是水痕形成，严重影响良率。我们设计了晶圆表面张力测量加热器，旨在从源头防止这类损失。 技术关键点 我们采用短波红外进行快速、无接触热传递，直接作用于晶圆和光刻胶。晶圆上的温度均匀性控制在±0.1°C以内，...