MEMSウェーハを乾燥させるためのより良い方法 正直言って、MEMSセンサー用ウェーハを乾燥させるのは大変な作業です。水分を除去しなければならない一方で、残留物が残ってはいけず、また、極端な温度変化によって素材が損傷してしまってはいけません。長い間、私たちは単に対流式オーブンを使って乾燥させるしか...

スマートファブの温度を制御する方法 スマートファブを構築する際、従来の加熱システムではもはや十分でないことがわかるでしょう。高度な技術やデータに基づいて作業を行うためには、古い方式の装置では不十分です。適切な加熱システムが必要です。 そこで役立つのが赤外線（IR）です。ウェーハの温度を迅速に上昇さ...

シャードの発生を防ぐ：ランプが故障した時でもウェーハを安全に守る方法 大量生産を行う工場では、ランプが故障することは大きな問題です。停止時間だけでなく、部品が散乱してしまうことも問題です。もし赤外線ランプがウェーハの真上で爆発すれば、至る所にガラスの破片や化学物質が散乱し、その結果、ウェーハが台無...

ウェーハの汚染を未然に防ぐ：硬化ランプをより効果的に扱う方法 正直に言って、高負荷でウェーハを処理している最中に石英管が破裂すると、それは大変な問題です。単に生産停止になるだけでなく、シリコン表面にガラスの破片やハロゲンガスが付着してしまいます。これは非常に面倒で、コストもかかり、誰もが避けたい状...

もう、壊れたランプがウェーハを台無しにするのを放っておかないでください。 大量生産を行う工場では、ランプが壊れるというのは単なる面倒な停止時間以上の問題です。それはまさに悪夢です。 石英製のケースが割れると、ガラスの破片やタングステンフィラメントがウェーハの上に降り注ぎます。一度壊れてしまうと、作...

ウェーハ加熱における工学的な安全距離：なぜ高密度赤外線がスマートファブに不可欠なのか 将来のIndustry 4.0対応のスマートファブを構築する場合、デジタル生産のペースに追いつくことができる熱処理ソリューションが必要です。まさにそのために、私たちはウェーハ加熱用の高密度赤外線システムを開発しま...

はじめに 私たちは半導体製造ライン用のウェーハ乾燥装置を製造しています。そして、どんな大手国際ブランドとも実際に競争することを恐れません。実際の作業環境下で、本格的な性能テストを行うのです。 これは単なるマーケティングの言葉ではありません。私たちが製品を設計する際の自信から生まれた、真剣な技術的挑...

製造現場では、洗浄後に残るわずかな水跡だけで、大量のウェハーが不良品になってしまうことがあります。従来の乾燥方法では、ウェハー表面に温度勾配が生じ、その結果、ソフトベイク後にフォトレジストの厚みに不均一性が生じます。私たちは、そうした不均一性を根本から解消するために、インフラーレッドヒーターを開発...

酸化処理の過程において、温度の安定性は単なる望ましい条件ではなく、むしろ最も重要な要素です。ウェーハの温度が1℃変動するだけで、酸化膜の厚さは数オングストローム程度変わってしまいます。これだけでも、デバイスの性能が規格を外してしまい、何時間もかけて行った作業が無駄になってしまいます。私たちは、この...

ウェーハのバーンインやフォトレジストのベイク処理中に温度が変動しても、それに対する警告は表示されません。その結果、線幅の変動や接着力の低下、そして電気的なテスト時に初めて問題が明らかになります。私たちは、このような変動を未然に防ぐために、NIR加熱ランプを開発しました。 重要なのは内部構造です こ...