IR加熱と熱風加熱：どちらが実際にクリーンルームで有効なのか？ 半導体加工用のオーブンを選ぶとき、重要なのは「熱をどのように伝えるか」という点です。 ほとんどの場合、まずは強制送風方式が採用されます。空気を加熱し、ファンで送風して、ウェハ全体に均等に熱が行き渡るようにします。しかし、IR加熱は全く...

悪夢を止めよう：ヒーターが故障したときでもウェーハを清潔に保つ方法 半導体クリーンルームで働いたことがある人なら、その状況をよく知っているでしょう。赤外線ランプが壊れると、突然、ガラスの破片やタングステンフィラメントがウェーハの上に降り注ぎます。これはまさに大災害です。瞬時にウェーハが汚染され、廃...

ファブの現場では、フォトレジストを焼成する際に0.3℃もの温度変動があると、それは「小さなエラー」とは言えません。これは単純に歩留まりの低下を意味します。ソフトベイクやハードベイクの温度設定によって、ウェーハ上の温度均一性が決まりますが、ウェーハ全体で温度均一性が保てないと、エッチングの選択性も不...