シャードの発生を防ぐ：ランプが故障した時でもウェーハを安全に守る方法 大量生産を行う工場では、ランプが故障することは大きな問題です。停止時間だけでなく、部品が散乱してしまうことも問題です。もし赤外線ランプがウェーハの真上で爆発すれば、至る所にガラスの破片や化学物質が散乱し、その結果、ウェーハが台無...

ファブ内では、温度の変動は単なる校正上の問題にとどまりません。それによってウェーハが破棄されてしまいます。フォトレジストを加熱する際に1℃の変動があるだけで、CD値が変わってしまい、また不均一な乾燥によって水痕が残り、結果として歩留まりが低下します。特に高温環境下では、一定で再現性の高い温度管理が...