真空対応赤外線ヒーター

ライン上で、ウェーハがスピンコーターから取り出され、フォトレジストを迅速に均一にセットする必要がある。ソフトベイクやハードベイク時に数度の温度誤差があれば、残留溶剤やパターン崩壊、歩留まり低下といった問題に直面することになる。ヒーターは再現性のある温度を提供し、パーティクルを排除し、真空中でもチャ...