MEMSウェーハを乾燥させるためのより良い方法 正直言って、MEMSセンサー用ウェーハを乾燥させるのは大変な作業です。水分を除去しなければならない一方で、残留物が残ってはいけず、また、極端な温度変化によって素材が損傷してしまってはいけません。長い間、私たちは単に対流式オーブンを使って乾燥させるしか...

装置をオーブンのように使うのはやめましょう 正直に言って、装置の間違った部分を加熱するのは、単なる無駄遣いです。また、危険でもあります。 もし標準的な赤外線ランプを使用しているなら、そのランプがあらゆる方向に熱を放つことに気づいているでしょう。つまり、360度全方位に熱が放出されるのです。すると、...

シャードの発生を防ぐ：ランプが故障した時でもウェーハを安全に守る方法 大量生産を行う工場では、ランプが故障することは大きな問題です。停止時間だけでなく、部品が散乱してしまうことも問題です。もし赤外線ランプがウェーハの真上で爆発すれば、至る所にガラスの破片や化学物質が散乱し、その結果、ウェーハが台無...

なぜ無鉛センサーには赤外線硬化法を用いるのか 水素センサーを製造するには、バランスを取る必要があります。膜や接着剤を硬化させるためには十分な熱が必要ですが、過度に加熱してしまうと、敏感な化学層が破壊されてしまいます。だからこそ、私たちは赤外線硬化法を利用しているのです。部屋の空気を温めるのではなく...

もう、壊れたランプがウェーハを台無しにするのを放っておかないでください。 大量生産を行う工場では、ランプが壊れるというのは単なる面倒な停止時間以上の問題です。それはまさに悪夢です。 石英製のケースが割れると、ガラスの破片やタングステンフィラメントがウェーハの上に降り注ぎます。一度壊れてしまうと、作...